电子行业中集成电路的集成度越高，对水质的要求也就越高。现在电子工业部把电子级水质技术分为五个行业标准，分别为18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，用来区分不同的水质。现在制备电子行业用超纯水的电子行业超纯水设备工艺根本上是以下三种，其他的工艺流程大都是在以下三种根本工艺流程的基础上进行不同组合调配衍生而来。

　　首先是选用离子交换树脂制备超纯水的传统水处理方法，其根本工艺流程为：原水→沙炭过滤器→精细过滤器→原水箱→阳床→阴床→混床(复床)→纯水箱→纯水泵→后置精细过滤器→用水点；它的长处在于刚开始的投资少，而且占用地少，但是需要常常进行离子再生，这样会消耗很多的酸碱，并且对环境有必定的损坏。

　　其次就是选用反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合的方法，其根本工艺流程为：原水→沙炭过滤器→精细过滤器→原水箱→反渗透设备→混床(复床)→纯水箱→纯水泵→后置精细过滤器→用水点；它的长处与短处基本跟离子交换树脂制备超纯水的传统水处理方法是一样的。

　　然后就是选用反渗透水处理设备与电去离子（EDI）设备进行调配的的方法，这是一种制取超纯水的新工艺，也是一种环保，经济，发展潜力巨大的超纯水制备工艺，其根本工艺流程为：原水→沙炭过滤器→精细过滤器→原水箱→反渗透设备→电去离子(EDI)→纯水箱→纯水泵→后置精细过滤器→用水点

　　这是现在制取超纯水经济，环保用来制取超纯水的工艺，不需要用酸碱进行再生便可接连制取超纯水，对环境没什么损坏性。但是这种方式相对而言比较昂贵。