电子行业超纯水设备的工艺：

　　1、选用离子交换树脂制备电子工业超纯水的传统水处理方法，其基本工艺流程为：原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中心水箱→阳床→阴床→混床(复床)→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点。

　　2、选用反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合制备电子工业超纯水的方法，其工艺流程为：原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中心水箱→反渗透设备→混床(复床)→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点。

　　3、选用反渗透设备与电去离子(EDI)设备进行搭配制备电子工业超纯水的方法，这是一种制取超纯水的工艺，也是一种环保，经济，发展潜力巨大的超纯水制备工艺，其工艺流程为：原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中心水箱→反渗透设备→电去离子(EDI)→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点。